어드밴스드에너지가 ‘세미콘코리아 2016’에서 더욱 향상된 기술을 선보인다. 진열중인 RF전력발생기, 고전압발생기, 열처리 장치 중에서도 새롭고, 플로팅된, 양극의 고전압 발생기와 차세대 고속 고온계를 소개한다.
울트라볼트(ULTRAVOLT) FLHV 시리즈 ESC(electrostatic chucks)의 강한 힘을 내는 고전압을 제공하고 진보된 제어기능과 모니터링뿐만 아니라 뛰어난 안정성과 신뢰성을 가진 플로팅된(floating or isolated) 단·양극 고전압 출력은 전체 시스템의 성능을 향상시킨다.
HBLED 제조나 이머징(emerging) III-V 매테리얼스(materials) 제조에는 MOCVD 공정과 같은 증착 공정이 사용되는데 이와 같은 고난이도의 공정에서 SEKIDENKO MXE G2 고온계를 이용해 온도와 리플렉턴스(reflectance)를 고속으로 측정할 수 있다.
유발 와사먼 어드밴스드에너지 사장겸 CEO는 “우리의 새로운 고전압 그리고 열관련 제품들은 AE가 우리의 모든 비즈니스 영역에서 어떻게 혁신을 지속하는지를 보여주는 좋은 예”라고 말했다.
그는 이어 “AE는 오랫동안 반도체산업에서 -이제는 ESC(electrostatic chucks) 산업에서도- 고정밀 전력발생기의 표준을 제시해 왔다”며 “HBLED 제조 과정에서 주로 사용되는 서스셉타(susceptor)의 빠른 회전 속도와 같이 고속의 측정이 요구되는 공정에서 온도와 리플렉턴스의 정확한 측정을 가능하게 한다”고 설명했다.
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