최첨단 반도체 및 전자 산업분야에서 불량개선 및 수율 향상을 위한 소재(Material)와 솔루션(Solution)을 제공하는 기업 인테그리스가 반도체 및 전자 산업용 중점도 액체분사 시스템 제품군인 ‘인텔리젠(IntelliGen)MV’ 신제품을 출시한다고 발표했다.
인텔리젠MV는 이미 성능이 입증된 인텔리젠 미니(Mini) 및 인텔리젠HV 분사 시스템에 3D 반도체 및 MEMS 응용 분야에 최적화된 솔루션을 결합해 중점도 액체 분사 분야에서 고순도 여과 기술과 재현성을 보장하는 솔루션이다.
토드 애덜런드 인테그리스 최고 운영 책임자는 “3D 반도체와 MEMS 기술이 발전함에 따라 복잡해진 공정에 맞는 고속 처리량과 고순도 여과 기능을 요구하는 제조업체가 늘어나는 추세로 응용 분야마다 집약적인 실시간 관리 기능과 대화형 진단 및 피드백 기능이 필요하다”며 “인텔리젠MV 중점도 액체 분사 시스템은 새롭고 다양한 진단 및 감지 기능을 통해 불량률을 줄이고 레시피 프로그래밍을 단순화하고 액체 여과 필터의 프라이밍(priming) 속도를 개선해준다”고 설명했다.
소형 설계 덕분에 트랙 하나에 여러 대를 설치할 수 있는 인텔리젠MV 분사 시스템은 100~300cP에 이르는 다양한 포토 케미컬을 동시에 처리해 필터의 여과 성능을 극대화하고 장비의 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있도록 한다.
새로운 인텔리젠MV 분사 시스템을 비롯해 다양한 인테그리스의 기상, 액상에 대한 오염 제어 및 웨이퍼(Wafer) 오염제어 솔루션은 2015년 2월4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘코리아 2015’ 전시회에 시연될 예정이다.
