인테그리스가 케미칼 필터·정제 분석 및 연구개발 시설을 국내 수원에 소재한 한국기술센터(KTC)에 확장한다고 발표했다.
기존 KTC에 추가 확장된 연구소에서는 필터 테스트 장치를 사용해 케미칼 및 용액의 분석 및 재료 특성 분석을 할 수 있다. 이러한 새로운 역량으로 인해 한국에 있는 고객과의 긴밀한 공동 연구 및 분석이 가능하며 첨단 공정에 최적화된 솔루션을 제공함으로써 특정 액체 여과 문제를 해결할 것으로 예상된다.
인테그리스 케미칼 미세오염 제어부문 부사장인 클린트 해리스(Clint Harris)는 “기술 노드가 향상됨에 따라 복잡한 공정 케미칼과 필터 장치간 상호 작용 및 호환성에 대한 수준 높은 분석이 점점 더 중요해지고 있다. 고객 가까이에서 이러한 기술에 대한 투자를 지속해 고객이 필요로 하는 케미칼에서의 필터 특성을 최적화하는데 노력을 계속할 것이다. KTC 케미칼 필터 연구소 확장으로 한국 고객과의 공동 연구 및 분석 역량이 향상되며 새롭게 개발한 기술을 고객의 새로운 공정 솔루션으로 더 빠르게 제안할 수 있다”고 말했다.
이러한 시설 확장은 한국 반도체 제조 기술에 기여하는 인테그리스의 지속적인 노력과 한국 고객들과 좀 더 긴밀한 연구 및 분석을 통해 첨단 기술 공정 과정에서 발생하는 주요 문제점들을 해결하고자 하는 지속적인 노력을 보여준다.
케미칼 필터 R&D 및 분석 시설 확장과 더불어 인테그리스의 KTC 또한 습식 및 건식 화학 분야 개발, 화학 제제 및 파일럿 스케일업(Scale-up), 실시간 보고식 현장 계측, 미세 오염 및 액체 필터 특성화를 제공한다.
