국제반도체장비재료협회 SEMI가 반도체 생산장비 에너지 사용량 측정과 온실가스 배출 저감에 대한 2건의 표준 한글본을 발간했다. 환경과 관련된 표준 번역은 이번이 처음이며 한글화 작업에 적용된 분야는 ▲SEMI S23-0813 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지/유틸리티/물질 저감 가이드 ▲SEMI S29-0712 불소계 온실가스(F-GHG) 배출 특성 표시 및 저감 가이드다.
지구온난화로 대표되는 기후 변화 문제는 1992년 UN 기후변화협약을 시작으로 대표적인 글로벌 환경 이슈가 됐다. 전세계 모든 국가들은 온실가스 목표관리제나 배출권거래제 등의 법적 규제를 마련하고 있다. 이에 따라 기업에서도 온실가스 감축과 에너지 사용량 감소를 위해 상당한 노력을 기울이고 있다. 특히 전력과 용수를 많이 사용하는 반도체 공장은 온실가스 감축과 온실가스 및 폐수처리에 사용되는 전력소모량을 줄이는 것을 도전과제로 삼고 있다. 이번 SEMI에서 발간하는 반도체 생산장비 에너지 사용량 측정과 온실가스 배출 저감에 대한 2건의 가이드는 현 반도체 산업이 직면한 환경문제 개선에 큰 도움이 될 것이다.
SEMI S29-0712 표준은 제조 장비(ME)에서 배출되는 불소계 온실가스(F-GHG)와 FC가스 경감 도구의 F-GHG 처리 효율(DRE)에 대한 특성을 표시하기 위한 가이드를 제공할 뿐 아니라 제조 장비와 경감 도구의 배출량을 감소시키기 위한 지속적인 개선 방안을 다룬다.
SEMI S23-0813 표준은 반도체 제조 장비에서 에너지, 유틸리티, 물질 절감과 관련된 개념을 소개하고 이에 대한 사용과 측정법, 지속적인 개선 방안을 제시한다.
