텍트로닉스가 고객맞춤형이 가능한 완전한 통합형 ‘키슬리 4200A-SCS’ 파라미터 분석기를 선보였다.
키슬리 4200A-SCS 파라미터 분석기는 테스트 설정이 간편하면서도 명확하고 정밀한 결과를 제공함으로써 새로운 사용자 또는 일시적인 사용을 원하는 고객이 복잡한 특성 파악에 할애하는 수고를 덜어줘 반도체 장치, 소재, 공정 관련 이해를 돕는다.
키슬리 4200-SCS 파라미터 분석기의 성공을 기반으로 신규 4200A-SCS 장비는 현대적 산업디자인, 새로운 그래픽 사용자 인터페이스를 갖췄고 전문가 교육 영상을 장비와 함께 제공하는 등 자가 학습이 가능한 다양한 도구를 제공한다.
결과적으로 테스트 설정 시간이 최대 절반으로 절약되고 훨씬 간편하고 직관적인 조작이 가능하다. 반도체 장치 연구, 장치 장애 분석, 다수 사용자가 공유하는 장비에 대한 신뢰성 실험과 같은 응용 분야의 경우 이러한 편리성이 특히 중요하다.
마이크 플래허티 텍트로닉스 키슬리 제품군 총책임자는 “파라미터 분석은 상용 이전 단계에서 새로운 반도체 장비, 소재의 특성을 파악하거나 장치의 신뢰성을 실험할 때 매우 중요하다”며 “그러나 실험 빈도가 낮기 때문에 연구자들이 파라미터 시험 장비를 전문적으로 다루기는 매우 어렵다”고 밝혔다.
측정이 다양해지고 반도체 연구의 복잡성이 가중되고 있는 시장 환경의 요구에 맞춰 텍트로닉스는 키슬리 4200A-CVIV 4채널 IV/CV 스위치 모듈을 출시하게 됐다고 설명했다.
4200A-SCS 메인 프레임에 사용하는 이 모듈은 SMU(I-V)와 커패시턴스-전압(C-V) 측정간에 온더플라이 스위칭을 제공해 프로버 니들이나 이동 케이블을 움직이지 않고도 C-V 측정을 다른 장치 단자로 이동시킬 수 있게 해준다.
4200A-SCS에는 새로운 고화질 와이드스크린 디스플레이가 장착되어 테스트와 실험 상호작용을 위한 넓은 화면 면적을 제공한다. 디스플레이는 미숙한 사용자들이 필요로 하는 직관적 조작이 가능하면서 동시에 전문가가 요구하는 고급 기능을 지원하는 전적으로 새로운 그래픽 사용자 인터페이스와 결합돼 있다.
4200A-SCS는 대체하는 장비와 마찬가지로 전체 통합식 모듈형 파라미터 분석기로 소재, 반도체 장치, 공정의 전기적 특성을 뒷받침한다. I-V 특성화를 위한 소스 측정 장치, AC 임피던스 측정용 커패시턴스-전압 모듈, 펄스 I-V와 파형 포착 및 트랜젠트 I-V 측정이 가능한 초고속 펄스 측정 장치로 구성된 4200A-SCS는 재료 연구, 반도체 장치 설계, 개발 또는 생산을 위해 연구자 또는 기술자가 필요로 하는 핵심 파라미터를 제공한다.
