기사 (1건) 리스트형 웹진형 타일형 기가포톤, 미세화 최전선 대응을 위한 ArFi 광원 GT66A 양산 출하 개시 기가포톤, 미세화 최전선 대응을 위한 ArFi 광원 GT66A 양산 출하 개시 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사는 신기술을 채용한 최신 반도체 제조 ArF 액침용 리소그래피 광원 ‘GT66A’의 양산 출하를 시작했다고 밝혔다.현재 로직 디바이스로는 3nm 노드의 프로세스 개발을 시작, DRAM으로는 1Znm 노드의 양산을 시작... 처음처음1끝끝