어플라이드머티어리얼즈가 인라인(inline) 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템을 출시한다. 이 시스템을 통해 유기발광다이오드(OLED) 및 초고화질 액정표시장치(UHD LCD) 제작사는 수율 극대화를 달성하고 시장에 신규 디스플레이 컨셉을 내보낼 수 있다는 것이 회사측의 설명이다.
차세대 디스플레이는 갈수록 더 많은 공정 단계를 거치게 되는데 이 과정에서 아주 미세한 오염물질이 자주 발생돼 새로운 형태의 결함을 발생시킨다. 현재 사용되고 있는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함 및 사소한 결함의 구분 그리고 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다.
그러나 기존 SEM 분석의 경우 유리 기판을 조각조각 쪼갠후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 들뿐 아니라 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다는 단점이 있었다.
어플라이드머티어리얼즈는 그 동안 반도체 소자 검사용 SEM 및 대면적 디스플레이 진공 플랫폼 분야에서 쌓아온 역량을 기반으로 기존 단점을 해결한 신규 인라인 EBR 기술을 탄생시켰다. 이번 신규EBR 시스템은 이러한 단점 없이 가장 빠르고 효과적으로 모바일 기기 및 TV 용 첨단 디스플레이의 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다.
알리 살레푸어 어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 분야 및 글로벌 서비스 담당 부사장겸 책임자는 “어플라이드머티어리얼즈의 신규 EBR 시스템은 자사가 가지고 있는 기존 강력한 디스플레이 부문 장비 라인 중 가장 최신 제품으로 고객사들이 OLED 및 LCD 제조상 발생하는 주요 문제를 해결할 수 있도록 돕는다”며 “자사만의 독자적인 반도체 산출 기술 및 패널 수준의 주사전자현미경 기술을 통해 잠재 시장을 확장할 수 있게 됐고 수율 저하를 줄여 고객사의 수익을 극대화할 수 있도록 했다. 최근 증강현실, 가상현실, 스마트카 등 다양한 애플리케이션들의 등장으로 새로운 폼팩터를 갖춘 차세대 디스플레이에 대한 수요가 높아지고 있다. 이러한 변화로 고객사들은 EBR과 같이 시장 출시 기간상에서 중요한 이득을 볼 수 있는 솔루션을 필요로 하고 있다”고 강조했다.
한편 이미 6곳의 세계 최대 디스플레이 생산사가 어플라이드머티어리얼즈의 EBR 시스템을 주문한 상태다. 최근 들어 고객사들이 빠르고 비용효율적으로 수율을 극대화하고 신규 타입의 디스플레이를 시장에 신속하게 출시하려는 움직임을 보이며 EBR 시스템의 수요가 점점 커지고 있다.
