첨단 소재 처리 솔루션 기업 인테그리스는 한국의 메모리 반도체 시장의 높은 수요에 대응해 나가기 위해 최첨단 가스 정제용 시스템(Gas Purification Systems, GPS)을 올해부터 한국 장안 공장에서 생산한다고 2월7일 기자간담회를 통해 밝혔다. 

첨단 노드용 반도체 공정 및 LED 제조 요구사항은 공정 가스에서 발견되는 결함 유발 오염 물질을 제거할 수 있도록 더욱 높은 순도를 요구한다. 이를 위해 필요한 첨단 가스 정제용 시스템은 반도체 및 LED 응용 분야의 웨이퍼 수율을 개선해 준다.