국제반도체장비재료협회(SEMI)가 반도체 생산장비 안전표준인 SEMI S2 4건의 한글 번역본을 발간했다.
이번 번역은 지난 1월 발간된 4건의 한글화 작업에 이은 추가 발간으로 ▲SEMI S6-0707E 반도체 제조장비 배출환기 가이드라인 ▲SEMI S10-0215 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 ▲SEMI S14-0309 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인 ▲SEMI S21-1106E (Reapproved 0612) 작업자 안전 가이드라인이 완역 발간됐다.
최근 몇 년 동안 반도체 사업장에서 안전 사고가 적지않게 발생하면서 업계에선 안전에 대한 적극적인 움직임이 일어왔다. 반도체 장비는 화학물질 및 전리방사선 등으로 인한 작은 실수나 고장으로도 심각한 인명사고를 유발할 수 있기 때문에 설계, 제작 단계부터 엄격한 관리를 요한다.
관련 업체들은 안전관리 조직을 만들고 안전경영을 점점 강화하며 안전과 관련된 투자를 아끼지 않고 있다. 이러한 전반적인 산업계 분위기 속에서 SEMI S2에 대한 중요도는 점점 높아지고 있는 추세다.
SEMI는 20여년간 반도체 장비에 필요한 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발해 업계에 제공해오고 있다. 이는 현재까지도 전세계 반도체 제조 분야에서 유일하게 사용되고 있는 표준이기 때문에 반도체부터 LED, 디스플레이에 이르기까지 여러 산업에서 광범위하게 상용되고 있다.
하지만 SEMI S2 표준은 영어로 표기되어있어, 한국 사용자들이 장비안전에 대한 전문지식을 습득하고 현장에서 활용하기가 어렵다는 의견이 지배적이었다. 한국SEMI는 이를 적극 반영해 2014년 부터 업계 활용도가 높은 표준을 단계적으로 번역하여 한글본을 발간하고 있다.
