고정밀 3D 센싱 기술 솔루션을 개발·제조하는 기업 사이버옵틱스가 오는 2월4일부터 6일까지 코엑스에서 진행되는 ‘세미콘 코리아’에 부스(2857번)를 마련하고 레티클센스(ReticleSense) 무선 측정 포트폴리오의 신제품을 발표할 예정이다.
새로 선보일 ‘레티클 에어본 파티클 센서 쿼츠’(Airborne Particle Sensor Quartz, 약칭 APSRQ)는 쿼츠 레티클을 다루는 반도체 장비에서 사용할 수 있도록 석영유리 재질의 하우징을 갖추고 있다.
신제품에는 전 세계 주문자상표부착생산(OEM) 업체와 반도체 팹에서 수율과 장비 업타임을 높이고자 널리 사용되고 있는 사이버옵틱스의 입자 센서 기술과 동일한 기술이 적용돼 있다.
반도체 팹의 스캐너 용도로 설계, 개발된 ‘레티클센스 APSRQ’는 ASML, 니콘(Nikon) 및 캐논(Canon) 스캐너와 호환되는 데 필요한 모든 정렬 마크와 바코드를 구비하고 있다.
APSRQ는 쿼츠 레티클과 마찬가지로 스캐너에 직접 장착할 수 있으며 전 레티클 경로를 따라 입자의 발생 시간과 위치를 실시간으로 검출할 수 있다.
페리스 첸 사이버옵틱스 글로벌 영업 담당 이사는 “인-시투 또는 핸드헬드 방식의 기존 스캔 레티클로 표면 스캔 오염원을 신속히 식별하기란 쉽지 않았다”며 “또한 이 같은 방식은 실시간 피드백이 없어 예상하지 못한 입자 소스가 검출되지 않은 채 진행되거나 최종 식별까지 오랜 시간이 소요되곤 했다”고 말했다.
이어 “APSRQ는 레티클 환경에서 신속한 입자 검증을 지원한다”며 “APSRQ 기술은 긴 입자 소스 문제 해결을 위해 고가의 스캐너를 오프라인으로 반입해야 하는 복수의 표면 검사 레티클로 시간이 소요되는 분할 작업을 덜어준다”고 설명했다.
더불어 그는 “제품 라인에 쿼츠 에어본 파티클 센서를 추가함으로써 고객들이 포토 리소그래피(Photo Lithography) 스캐너 환경에서 제조 품질과 생산성 기준을 뛰어 넘을 수 있도록 돕게 됐다”고 덧붙였다.
웨이퍼센스(WaferSense)와 레티클센스 에어본 파티클 센서는 장비 엔지니어가 장비 검증, 제품 출시 및 유지보수 주기까지 소요되는 시간을 단축시키는 동시에 비용을 절감할 수 있도록 뒷받침한다.
고객들은 시간과 비용을 각각 최대 88%, 95%까지 줄이는 한편 웨이퍼센스나 레티클센스 센서를 이용해 기존의 표면 검사 웨이퍼 방식에 비해 절반의 인력으로 처리량을 최대 20배까지 높이는 성과를 거두고 있다.
