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국내 중소기업, 메모리반도체 핵심소재 기술자립 성공

DCT 머티리얼, ‘고(高)종횡비 구조의 메모리반도체용 스핀코팅 하드마스크 소재’ 국산화
최형주 기자l승인2020.02.12 15:55:07l수정2020.02.12 16:11

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[CCTV뉴스=최형주 기자] 국내 중소기업 ‘DCT 머티리얼’이 반도체 공공 테스트베드인 나노종합기술원과의 공동 연구를 수행해 메모리반도체용 핵심 소재의 기술자립에 성공했다.

현재 ‘고(高)종횡비 구조의 메모리반도체용 스핀코팅 하드마스크 소재’는 수입에 의존 하고 있다. 양측이 함께 개발한 소재는 기존 제품보다 평탄화 특성은 물론, 가격경쟁력도 우수해 그동안 일본 등 외국에 의존했던 메모리반도체용 하드마스크 소재의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

특히 하드마스크 1세대 공정은 미세화 한계에 도달했다. 이에 전 세계적으로 2세대 공정 개발이 활발하게 진행되었지만, 국내 중소 소재기업이 활용하는 반도체 소재 생산 장비는 반도체 최종 생산기업이 보유하고 있는 장비에 비해 훨씬 노후화돼 양산 제품 검증요건을 충족시키기 어려운 상황이었다. 

이같은 상황에서 DCT 머티리얼은 나노종합기술원의 팹시설을 활용해 기술개발을 추진했고, 최종 수요처인 대기업에 납품하기 위한 내열성, 평탄화율 등의 요구기준을 모두 충족하는 제품개발에 성공했다.

DCT 머티리얼 관계자는 “나노종합기술원과의 협력을 통해 세계최고 수준을 뛰어넘는 제품개발에 성공했다”며 “중소기업 지원 테스트베드가 확충된다면, 반도체 소재의 기술자립을 더욱 앞당길 수 있을 것”이라고 전했다.

 

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최형주 기자  hjchoi@cctvnews.co.kr
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